1.一種醫用鈦金屬材料的表面改性方法,其特征在于:采用等離子體浸沒離
子注入(PIII)技術在醫用鈦金屬材料表面注入銀/氮二元離子;采用等離子體浸沒離
子注入技術在醫用鈦金屬材料表面注入銀/氮二元離子的工藝參數為:本底真空度
為3×10-3~4×10-3Pa,注入電壓為10~40kV,脈寬為50~450μs,氮氣流量為5~
25sccm,頻率為5~9Hz,銀氮注入時間為0.5~3h。
2.根據權利要求1所述的醫用鈦金屬材料的表面改性方法,其特征在于:采
用純銀作為陰極。
3.根據權利要求1所述的醫用鈦金屬材料的表面改性方法,其特征在于:采
用等離子體浸沒離子注入技術在醫用鈦金屬材料表面注入銀/氮二元離子的工藝
參數為:本底真空度為3.6×10-3Pa,注入電壓為30kV,脈寬為450μs,氮氣流量
為25sccm,頻率為7Hz,銀氮注入時間為1~2h。
4.根據權利要求1所述的醫用鈦金屬材料的表面改性方法,其特征在于:采
用等離子體浸沒離子注入技術在醫用鈦金屬材料表面注入銀/氮二元離子的順序
為先銀后氮、先氮后銀或銀氮共注方式。
5.根據權利要求4所述的醫用鈦金屬材料的表面改性方法,其特征在于:采
用等離子體浸沒離子注入技術在醫用鈦金屬材料表面注入銀/氮二元離子的順序
為銀氮共注方式。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的醫用鈦金屬材料的表面改性方法,其
特征在于:所述的鈦金屬材料為純鈦或鈦合金。
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