本發(fā)明提出一種氣體溫度控制裝置，包括：氣體側(cè)管路，液體側(cè)管路，以及控制器；所述液體側(cè)管路由第一回路與第二回路組成，所述液體側(cè)管路連接于所述熱交換器；其中所述第二回路包括電動雙通閥，手動調(diào)壓閥，循環(huán)泵與溫度傳感器；所述第一回路則包括球閥，過濾器與溫度傳感器。本發(fā)明提出了氣體溫度控制裝置，此裝置采用兩級液體循環(huán)控溫系統(tǒng)，且對冷卻或加熱的循環(huán)液體無精度要求，通過控制進(jìn)入回路內(nèi)的液體流量，進(jìn)行冷熱補(bǔ)償，可獲得較高的氣體溫控精度，從而保證光刻機(jī)內(nèi)溫度的穩(wěn)定性和均勻性指標(biāo)。

1.一種氣體溫度控制裝置，包括氣體側(cè)管路，其特征在于，還包括：
液體側(cè)管路以及控制器；
其中，所述氣體側(cè)管路由消音器，潔凈風(fēng)機(jī)，熱交換器，溫度傳感器、以
及風(fēng)速傳感器組成，所述消音器設(shè)置于裝置進(jìn)氣口處和出氣口處，所述潔凈風(fēng)
機(jī)通過氣體管路連接于所述進(jìn)氣口處的消音器，所述熱交換器通過氣體管路連
接于所述潔凈風(fēng)機(jī)和所述出氣口處的消音器，所述溫度傳感器設(shè)置于所述熱交
換器兩側(cè)，所述風(fēng)速傳感器設(shè)置于所述熱交換器與所述出氣口處的消音器之間；
所述液體側(cè)管路由第一回路與第二回路組成，所述液體側(cè)管路連接于所述
熱交換器；
其中所述第二回路包括電動雙通閥，手動調(diào)壓閥，循環(huán)泵與溫度傳感器；
所述第一回路則包括球閥，過濾器與溫度傳感器；
所述循環(huán)泵使得液體在所述熱交換器內(nèi)連續(xù)循環(huán)，使得旁通的回液側(cè)壓力
高于進(jìn)水側(cè)壓力，使得部分經(jīng)過所述熱交換器的回水與新的循環(huán)水相混合，其
余回水流出循環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述電動雙通
閥控制所述新的循環(huán)水的流量，通過占空比控制氣體的溫度精度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述熱交換器
的數(shù)量為兩個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述液體側(cè)管
路還包括第三回路，所述第三回路與所述第二回路結(jié)構(gòu)相同，所述兩個(gè)熱交換
器分別連接于所述第二回路和第三回路。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述兩個(gè)熱交
換器的出口處分別設(shè)置有管道加熱器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，該裝置包括回
風(fēng)風(fēng)道，連接所述裝置進(jìn)氣口和出氣口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述回風(fēng)風(fēng)道
上設(shè)置有回風(fēng)風(fēng)閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述回風(fēng)風(fēng)閥改變
氣體供應(yīng)流量，同時(shí)將裝置出氣口的氣體，與進(jìn)入裝置的氣體混合后，通過熱
交換器與液體循環(huán)回路的控制，進(jìn)一步提高氣溫精度。