本發(fā)明公開一種光學(xué)手術(shù)探針，其包括套管；在所述套管內(nèi)的光導(dǎo)，其被配置成將光束引導(dǎo)至所述光導(dǎo)的遠(yuǎn)端，以及在所述套管的遠(yuǎn)端的多光斑產(chǎn)生器，所述多光斑產(chǎn)生器具有帶有傾斜小面的多面近端表面，其被配置成接收所述光束并且將所述接收的光束分成多個光束分量，和遠(yuǎn)端表面，所述多個光束分量穿過所述遠(yuǎn)端表面離開所述多光斑產(chǎn)生器，其中所述多光斑產(chǎn)生器的所述近端表面是帶有小于所述光束的波長的調(diào)制長度的微結(jié)構(gòu)，從而降低回到所述探針中的光的反射比。

1.一種光學(xué)手術(shù)探針，其包括：
圓柱形套管；
在所述套管內(nèi)的光導(dǎo)，該光導(dǎo)被配置成接收來自光源的光束，將所述光束引導(dǎo)至所述
光導(dǎo)的遠(yuǎn)端，并且在所述光導(dǎo)的所述遠(yuǎn)端發(fā)射所述光束；以及
在所述套管內(nèi)且在所述套管的遠(yuǎn)端的多光斑產(chǎn)生器，所述多光斑產(chǎn)生器具有
帶有傾斜小面的多面化的近端表面，其被配置成接收在所述光導(dǎo)的所述遠(yuǎn)端發(fā)射的所
述光束并且將所述接收的光束分成多個光束分量，以及
遠(yuǎn)端表面，所述多個光束分量穿過所述遠(yuǎn)端表面離開所述多光斑產(chǎn)生器，其中
所述多光斑產(chǎn)生器的所述近端表面被微結(jié)構(gòu)化為帶有小于所述光束的波長的調(diào)制長
度。
2.如權(quán)利要求1所述的探針，所述多光斑產(chǎn)生器的所述近端表面包括：
微結(jié)構(gòu)，其帶有小于所述光束的所述波長的平均間隔。
3.如權(quán)利要求2所述的探針，所述微結(jié)構(gòu)包括以下至少一種：
凸塊、凹陷和凹凸圖案。
4.如權(quán)利要求3所述的探針，其中：
所述凸塊包括圓錐體、棱柱或角錐體。
5.如權(quán)利要求3所述的探針，其中：
所述凹陷包括溝槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其中：
所述多光斑產(chǎn)生器的所述近端表面具有蛾眼結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其中：
所述多光斑產(chǎn)生器的所述近端表面被微結(jié)構(gòu)化為具有將由所述多光斑產(chǎn)生器的所述
近端表面進(jìn)行的所述光束的反射減少到低于1％的有效折射率。
8.如權(quán)利要求1所述的探針，所述多光斑產(chǎn)生器包括：
在所述套管的遠(yuǎn)端處的固化粘合劑介質(zhì)，所述微結(jié)構(gòu)化的近端表面在所述粘合劑介質(zhì)
的近端表面處形成；以及
球透鏡，其設(shè)置在所述固化粘合劑介質(zhì)中。
9.如權(quán)利要求8所述的探針，所述球透鏡包括：
藍(lán)寶石球透鏡。
10.如權(quán)利要求1所述的探針，所述多光斑產(chǎn)生器包括：
遠(yuǎn)端表面，所述遠(yuǎn)端表面被微結(jié)構(gòu)化為帶有小于所述光束的所述波長的調(diào)制長度；以
及
所述多光斑產(chǎn)生器的所述近端表面和所述遠(yuǎn)端表面被微結(jié)構(gòu)化從而具有將由所述多
光斑產(chǎn)生器進(jìn)行的所述光束的總體反射減少到低于1％的有效折射率。
11.一種用于制造用于光學(xué)手術(shù)探針的多光斑產(chǎn)生器的方法，所述方法包括：
使用涂覆器將透光粘合劑介質(zhì)沉積在襯底的表面上；
將光學(xué)元件插入所述粘合劑介質(zhì)中；
將帶有傾斜多面化和微結(jié)構(gòu)化的遠(yuǎn)端的銷放置到所述粘合劑介質(zhì)上以便在所述粘合
劑介質(zhì)上形成傾斜多面化且微結(jié)構(gòu)化的近端表面，從而形成銷-粘合劑-光學(xué)元件-襯底組
件；
將套管放置到所述銷-粘合劑-光學(xué)元件-襯底組件上以便將所述多光斑產(chǎn)生器容納進(jìn)
所述套管內(nèi)；
固化所述粘合劑介質(zhì)；以及
將所述襯底和所述銷與容納在所述套管內(nèi)的所述多光斑產(chǎn)生器分開。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其包括：
使用電子束蝕刻將所述銷的所述遠(yuǎn)端微結(jié)構(gòu)化。
13.如權(quán)利要求11所述的方法，其包括：
通過使用微結(jié)構(gòu)化和多面化的基礎(chǔ)工具壓印所述銷的所述遠(yuǎn)端來將所述銷的所述遠(yuǎn)
端微結(jié)構(gòu)化。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中：
所述基礎(chǔ)工具包括比所述銷的材料更堅硬的材料；以及
使用電子束蝕刻將所述基礎(chǔ)工具微結(jié)構(gòu)化。
15.如權(quán)利要求11所述的方法，其包括：
通過使用微結(jié)構(gòu)化和多面化的模制工具的注射模制法將所述銷的所述遠(yuǎn)端表面微結(jié)
構(gòu)化。
16.如權(quán)利要求11所述的方法，其包括：
將脫模層沉積在所述銷的所述遠(yuǎn)端表面上。
17.如權(quán)利要求11所述的方法，其中：
所述微結(jié)構(gòu)化的近端表面具有短于所述光學(xué)手術(shù)探針的操作光束的波長的調(diào)制長度。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其中：
所述微結(jié)構(gòu)化的近端表面包括以下至少一種
凸塊、凹陷、凹凸圖案和蛾眼結(jié)構(gòu)。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中：
所述凸塊包括圓錐體、棱柱或角錐體。
20.如權(quán)利要求18所述的方法，其中：
所述凹陷包括溝槽。
21.如權(quán)利要求11所述的方法，所述形成包括：
形成帶有微結(jié)構(gòu)的所述傾斜多面化且微結(jié)構(gòu)化的近端表面以便具有將由所述近端表
面進(jìn)行的光束的反射減小到低于1％的有效折射率。
22.一種用于制造用于光學(xué)手術(shù)探針的多光斑產(chǎn)生器的方法，所述方法包括：
將光學(xué)元件定位在襯底的表面上；
使用涂覆器將透光粘合劑介質(zhì)沉積在所述襯底的表面上以圍繞并包裹所述光學(xué)元件；
將帶有傾斜多面化和微結(jié)構(gòu)化的遠(yuǎn)端的銷放置到所述粘合劑介質(zhì)上以便在所述粘合
劑介質(zhì)上形成傾斜多面化且微結(jié)構(gòu)化的近端表面，從而形成銷-粘合劑-光學(xué)元件-襯底組
件；
將套管放置到所述銷-粘合劑-光學(xué)元件-襯底組件上以便將所述多光斑產(chǎn)生器容納進(jìn)
所述套管內(nèi)；
固化所述粘合劑介質(zhì)；以及
將所述襯底和所述銷與容納在所述套管內(nèi)的所述多光斑產(chǎn)生器分開。