本發(fā)明公開了一種精密氣體控制裝置及光學(xué)制造系統(tǒng)。該精密氣體控制裝置包括初級(jí)過(guò)濾器、蒸發(fā)器、冷凝器以及混合室，其中：初效過(guò)濾器用于將外部環(huán)境的空氣進(jìn)行初級(jí)過(guò)濾，并將經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾的氣體分別輸送到蒸發(fā)器和冷凝器；蒸發(fā)器用于對(duì)經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體進(jìn)行降溫，以得到冷氣；冷凝器用于對(duì)經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體進(jìn)行加熱，以得到熱氣；混合室用于按照預(yù)設(shè)的比例混合冷氣和熱氣。通過(guò)上述方式，本發(fā)明采用冷、熱風(fēng)混合的方式，能夠節(jié)省外部冷水機(jī)，從而達(dá)到節(jié)能環(huán)保的效果。

1.一種精密氣體控制裝置，其特征在于，所述精密氣體控制裝置包括初效過(guò)濾器、蒸發(fā)
器、冷凝器以及混合室，其中：
所述初效過(guò)濾器用于將外部環(huán)境的空氣進(jìn)行初級(jí)過(guò)濾，并將經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體
分別輸送到所述蒸發(fā)器和所述冷凝器；
所述蒸發(fā)器用于對(duì)經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體進(jìn)行降溫，以得到冷氣；
所述冷凝器用于對(duì)經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體進(jìn)行加熱，以得到熱氣；
所述混合室用于按照預(yù)設(shè)的比例混合所述冷氣和熱氣；
所述精密氣體控制裝置還包括：
第一混風(fēng)風(fēng)扇，用于將所述冷氣輸送到所述混合室內(nèi)；
第二混風(fēng)風(fēng)扇，用于將所述熱氣輸送到所述混合室內(nèi)；
熱膨脹閥，用于控制輸入所述蒸發(fā)器的制冷劑的流量；
旁通閥，所述旁通閥的一側(cè)與所述冷凝器相連接，另一側(cè)與所述蒸發(fā)器相連接，其中，
所述冷凝器內(nèi)的氣態(tài)的制冷劑提供熱量給經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體后變成液態(tài)的制冷劑，
所述旁通閥用于對(duì)所述冷凝器輸出的液態(tài)的制冷劑進(jìn)行分流；
主控器，用于與所述熱膨脹閥、第一混風(fēng)風(fēng)扇、第二混風(fēng)風(fēng)扇以及混合室相連接，分別
電氣控制所述熱膨脹閥的開度、第一混風(fēng)風(fēng)扇和第二混風(fēng)風(fēng)扇的開關(guān)以及混合室的預(yù)設(shè)比
例；
兩個(gè)溫度傳感器，分別用于測(cè)量從蒸發(fā)器輸出的氣體以及混合室中的氣體的溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密氣體控制裝置，其特征在于，所述精密氣體控制裝置還包
括壓縮機(jī)、低壓開關(guān)以及高壓開關(guān)，其中，所述低壓開關(guān)的兩側(cè)分別連接所述蒸發(fā)器和所述
壓縮機(jī)，所述高壓開關(guān)的兩側(cè)分別連接所述壓縮機(jī)和所述冷凝器，其中：
所述壓縮機(jī)用于對(duì)其內(nèi)的制冷劑進(jìn)行壓縮，從而產(chǎn)生熱量；
所述蒸發(fā)器內(nèi)的液態(tài)的制冷劑吸收經(jīng)過(guò)初級(jí)過(guò)濾得到的氣體的熱量，以變成氣態(tài)的制
冷劑，所述氣態(tài)的制冷劑通過(guò)所述低壓開關(guān)后進(jìn)一步通過(guò)所述壓縮機(jī)吸收所述壓縮機(jī)產(chǎn)生
的熱量，并通過(guò)所述高壓開關(guān)后輸送到所述冷凝器中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密氣體控制裝置，其特征在于，所述精密氣體控制裝置還包
括：
過(guò)濾干燥器，用于對(duì)所述冷凝器中的制冷劑進(jìn)行過(guò)濾和干燥。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密氣體控制裝置，其特征在于，所述精密氣體控制裝置還包
括：
風(fēng)閥，用于將經(jīng)過(guò)所述冷凝器后的部分廢棄氣體排除到所述精密氣體控制裝置外。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密氣體控制裝置，其特征在于，所述精密氣體控制裝置還包
括：
高效過(guò)濾器，用于將所述混合室中的混合氣體進(jìn)行過(guò)濾，并通過(guò)氣體管路輸送到環(huán)境
控制裝置中。
6.一種光學(xué)制造系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)制造系統(tǒng)包括精密氣體控制裝置、氣體管
路以及環(huán)境控制裝置，其中：
所述氣體管路的兩端分別連接所述精密氣體控制裝置和環(huán)境控制裝置，用于將所述精
密氣體控制裝置輸出的氣體輸送到所述環(huán)境控制裝置；
所述精密氣體控制裝置包括如權(quán)利要求1-5任意一項(xiàng)所述的精密氣體控制裝置；
所述環(huán)境控制裝置包括：
高效過(guò)濾器，用于對(duì)所述精密氣體控制裝置輸送的氣體進(jìn)行凈化過(guò)濾后輸送到所需的
環(huán)境中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)制造系統(tǒng)，其特征在于，所述環(huán)境控制裝置還包括：
溫度傳感器、濕度傳感器以及風(fēng)速傳感器，分別對(duì)環(huán)境的溫度參數(shù)、濕度參數(shù)以及風(fēng)速
參數(shù)進(jìn)行采集并反饋給所述精密氣體控制裝置。