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探針卡裝置

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2022-02-04
  • 技術成熟度:通過小試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN200610028785.9 
  • 技術(專利)名稱 探針卡裝置 
  • 項目單位 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
  • 發明人 劉云海,簡維廷,張榮哲 
  • 行業類別
  • 技術成熟度 通過小試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 鄭英達
  • 發布時間 2022-02-04  
  • 01

    項目簡介

    公開了一種芯片測試系統中的探針卡裝置,該探針卡裝置由轉接板和通用探針卡組成,既滿足了探針臺對探針卡的安裝要求,又滿足了測試儀對探針卡的連接要求,在無需購買新的芯片測試系統,也無需更改測試儀與探針臺硬件的情況下,通過更換新的探針卡裝置就利用原有設備實現了新的測試功能,有效地節約了成本,且安裝方便,通用性強。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種芯片測試系統,所述芯片測試系統包括測試儀和探針臺,所述探針臺具有能夠安裝專用探針卡的卡槽,所述專用探針卡與所述探針臺配套使用,其特征在于:所述系統還包括探針卡裝置,所述裝置包括轉接板和電纜式探針卡,所述轉接板具有上表面和下表面,其中間區域具有一開口,所述電纜式探針卡設置于所述轉接板上,所述電纜式探針卡具有焊盤區和探針區,所述焊盤區和探針區從所述開口中露出,所述電纜式探針卡的探針與待測芯片的接觸點接觸,所述轉接板安裝于所述探針臺的卡槽中,所述電纜式探針卡通過電纜與所述測試儀連接。2.如權利要求1所述的系統,其特征在于:所述轉接板的外形尺寸與所述專用探針卡相同。3.如權利要求1所述的系統,其特征在于:所述探針區上的探針低于所述轉接板的下表面。4.如權利要求1所述的系統,其特征在于:所述轉接板上具有與所述專用探針卡位置相對應的通孔。5.如權利要求4所述的系統,其特征在于:利用所述通孔將所述轉接板固定于所述卡槽中。6.如權利要求3所述的系統,其特征在于:所述探針與被測芯片的測試點接觸。7.一種用于芯片測試系統的探針卡裝置,所述系統具有專用探針卡,所述專用探針卡與所述芯片測試系統中探針臺配套使用,其特征在于:所述裝置包括轉接板和電纜式探針卡,所述轉接板具有上表面和下表面,其中間區域具有一開口,所述電纜式探針卡安裝于所述轉接板上,所述電纜式探針卡具有焊盤區和探針區,所述焊盤區和探針區從所述開口中露出,所述電纜式探針卡的探針與待測芯片的接觸點接觸,所述電纜式探針卡與所述芯片測試系統中測試儀通過電纜式連接配套使用,所述轉接板具有與所述專用探針卡相同的外形尺寸。8.如權利要求7所述的裝置,其特征在于:所述探針區上的探針低于所述轉接板的下表面。9.如權利要求7所述的裝置,其特征在于:所述轉接板上具有與所述專用探針卡位置相對應的通孔。
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專利技術附圖

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