本發(fā)明涉及一種接觸式探針，該接觸式探針包括：固定構(gòu)件；感應(yīng)器，該感應(yīng)器由一個(gè)或數(shù)個(gè)彈性元件相對(duì)于所述固定構(gòu)件保持在靜止位置，所述感應(yīng)器能夠響應(yīng)于偏轉(zhuǎn)力從所述靜止位置移動(dòng)；包括光源的檢測(cè)系統(tǒng)，該光源借助所述感應(yīng)器相對(duì)于所述固定構(gòu)件的位移被驅(qū)動(dòng)；接收由所述光源發(fā)出的光的光學(xué)圖像傳感器；光掩模，該光掩模插設(shè)在光路中位于所述光源和所述光學(xué)圖像傳感器之間。

1.一種接觸式探針，該接觸式探針包括：固定構(gòu)件；感應(yīng)器，該感應(yīng)器由一個(gè)
或數(shù)個(gè)彈性元件相對(duì)于所述固定構(gòu)件保持在靜止位置，所述感應(yīng)器能夠響應(yīng)于偏轉(zhuǎn)力
從所述靜止位置移動(dòng)；包括光源的用于檢測(cè)所述感應(yīng)器的位移的檢測(cè)系統(tǒng)；接收由所
述光源發(fā)出的光的光學(xué)圖像傳感器；其中，所述光學(xué)圖像傳感器上的光強(qiáng)度的空間分
布根據(jù)所述感應(yīng)器的位移而改變。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，其中，所述光學(xué)圖像傳感器是2D傳感
器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針還包括處理電路，該處理
電路設(shè)置成用于從由所述光學(xué)圖像傳感器記錄的圖像確定所述感應(yīng)器沿著一條、兩條
或三條測(cè)量軸線的位置和/或偏轉(zhuǎn)，并且用于向測(cè)量機(jī)傳輸表示所述位置和/或偏轉(zhuǎn)的
位置信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的接觸式探針，其中，所述處理電路被設(shè)計(jì)成在作用于
所述感應(yīng)器上的力超過(guò)預(yù)定閾值時(shí)觸發(fā)接觸信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的接觸式探針，其中，所述處理電路被設(shè)計(jì)成產(chǎn)生連續(xù)
地表示所述感應(yīng)器沿著一條、兩條或三條測(cè)量軸線的位置和/或偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的接觸式探針，該接觸式探針還包括溫度傳感器，其中
所述處理電路被設(shè)計(jì)成根據(jù)所述溫度傳感器提供的信號(hào)補(bǔ)償溫度誤差。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括加速計(jì)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括接收由所述光源發(fā)出
的光的多個(gè)光學(xué)圖像傳感器，其中，所述光學(xué)圖像傳感器上的光強(qiáng)度的空間分布根據(jù)
所述感應(yīng)器的位移而改變，所述探針還包括處理電路，該處理電路設(shè)計(jì)成從由所述光
學(xué)圖像傳感器記錄的光分布來(lái)確定所述感應(yīng)器沿三維的位移。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，其中，所述一個(gè)或數(shù)個(gè)彈性元件由單塊
金屬部件構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的接觸式探針，其中，所述單塊金屬部件具有大致筒狀
形狀，所述筒狀形狀具有對(duì)應(yīng)于兩個(gè)底部的兩個(gè)端部元件，所述感應(yīng)器與一端部元件
的中心一體地結(jié)合，并且所述光源與相對(duì)的端部元件的中心一體地結(jié)合，其中每個(gè)端
部元件均具有與所述探針主體一體結(jié)合的外周環(huán)以及允許所述光源沿著三條軸線移
位的多個(gè)可變形元件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括光掩模，該光掩模插
設(shè)在光路中位于所述光源和所述光學(xué)圖像傳感器之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的接觸式探針，其中，所述光掩模包括透鏡陣列。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，其中，所述光源借助所述感應(yīng)器相對(duì)于
所述固定構(gòu)件的位移而被驅(qū)動(dòng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，其中，所述感應(yīng)器借助磁性連接或機(jī)械
連接以可移除的方式連接至所述檢測(cè)系統(tǒng)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的接觸式探針，其中，所述感應(yīng)器由可更換的模塊支
承，該可更換的模塊包括感應(yīng)器支架，所述感應(yīng)器支架由限定六個(gè)接觸點(diǎn)的多個(gè)定位
元件彈性地保持在靜止位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸式探針，其中，所述彈性元件包括：剛性元件，
該剛性元件沿著大致軸向方向延伸，并且所述剛性元件在兩端處具有柔性元件以確保
橫向柔度；以及臂，這些臂具有軸環(huán)以確保軸向柔度。