公開一種用于測(cè)試電路板的探針卡組件。在一些實(shí)施方案中，所述組件包括以下部分：與集成電路對(duì)齊的成多層的介電板，所述集成電路在所述集成電路的表面上具有被安排為圖案的第一組多個(gè)電接觸體，所述介電板在所述介電板的表面上已經(jīng)排列了被安排為圖案的第二組多個(gè)電接觸體，所述第二組多個(gè)電接觸體基本上匹配所述第一組多個(gè)電接觸體；插入所述介電板和所述集成電路之間的納米管插入件，所述納米管插入件具有順應(yīng)的碳納米管材料體，所述順應(yīng)的碳納米管材料體被安排以匹配在所述集成電路和所述介電板上的電接觸體的所述圖案；以及多個(gè)直立探針，所述直立探針在所述納米管插入件上被排列并且與所述納米管材料體接合，經(jīng)由所述納米管材料體所述直立探針與所述第一組多個(gè)電接觸體和所述第二組多個(gè)電接觸體電接觸。

1.一種用于測(cè)試電路板的探針卡組件，所述探針卡組件包括：
與集成電路對(duì)齊的成多層的介電板，所述集成電路在所述集成電路的表面上已經(jīng)排列
了被安排為圖案的第一組多個(gè)電接觸體，所述介電板在所述介電板的表面上已經(jīng)排列了被
安排為圖案的第二組多個(gè)電接觸體，所述第二組多個(gè)電接觸體匹配所述第一組多個(gè)電接觸
體；
插入所述介電板和所述集成電路之間的平的碳納米管插入件，所述碳納米管插入件包
括包含碳納米管的區(qū)域以及鄰近所述包含碳納米管的區(qū)域的無碳納米管的區(qū)域，所述包含
碳納米管的區(qū)域具有順應(yīng)的碳納米管材料體，所述順應(yīng)的碳納米管材料體被安排以匹配在
所述集成電路和所述介電板上的電接觸體的所述圖案；以及
多個(gè)非順應(yīng)的直立探針，所述直立探針在所述碳納米管插入件上被排列為圖案并且與
所述碳納米管材料體接合，經(jīng)由所述碳納米管材料體所述直立探針與所述第一組多個(gè)電接
觸體和所述第二組多個(gè)電接觸體電接觸，其中所述探針具有細(xì)長的配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體中的每個(gè)在所述直
立探針和所述第二組多個(gè)電接觸體之間充當(dāng)電通道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡組件，還包括：
具有第一孔陣列的組件輔助膜；以及
包括第二孔陣列的模頭；
其中所述探針延伸通過所述第一孔陣列和所述第二孔陣列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體被形成為具有小于
0.5密耳的徑向間隔的陣列。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體中的每個(gè)具有小于1
密耳的高度和寬度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體中的每個(gè)少于每密
耳8克。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡組件，其中所述探針中的每個(gè)包括一個(gè)或更多個(gè)凸
起的表面。
8.一種用于測(cè)試電路板的探針卡組件，所述探針卡組件包括：
與集成電路對(duì)齊的介電板，所述集成電路在所述集成電路的表面中的一個(gè)上已經(jīng)排列
了被安排為圖案的第一組多個(gè)電接觸體，所述介電板在所述介電板的表面中的一個(gè)上已經(jīng)
排列了被安排為圖案的第二組多個(gè)電接觸體，所述第二組多個(gè)電接觸體匹配所述第一組多
個(gè)電接觸體；
插入所述介電板和所述集成電路之間的平的碳納米管插入件，所述碳納米管插入件包
括包含碳納米管的區(qū)域以及鄰近所述包含碳納米管的區(qū)域的無碳納米管的區(qū)域，所述包含
碳納米管的區(qū)域具有順應(yīng)的碳納米管材料體，所述順應(yīng)的碳納米管材料體被安排以匹配在
所述集成電路和所述介電板上的電接觸體的圖案；
多個(gè)非順應(yīng)的直立探針，所述直立探針在所述碳納米管插入件上被排列為圖案并且與
所述碳納米管材料體接合，經(jīng)由所述碳納米管材料體所述直立探針與所述第一組多個(gè)電接
觸體和所述第二組多個(gè)電接觸體電接觸，其中所述探針具有直的配置；
具有第一孔陣列的組件輔助膜；以及
包括第二孔陣列的模頭，其中所述探針延伸通過所述第一孔陣列和所述第二孔陣列。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡組件，其中所述介電板是成多層的。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體中的每個(gè)在所述直
立探針和所述第二組多個(gè)電接觸體之間充當(dāng)電通道。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體被形成為具有小于
0.5密耳的徑向間隔的陣列。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體中的每個(gè)具有小于
1密耳的高度和寬度。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡組件，其中所述碳納米管材料體中每個(gè)少于每密耳
8克。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡組件，其中所述探針中的每個(gè)包括一個(gè)或更多個(gè)凸
起的表面。