本發明提供了一種探針卡電路及其測試方法，所述濾波單元、第一節點、探針單元和第二節點順次連接構成一回路；所述開關單元處于所述回路中，而探針單元電連接一晶圓；所述晶圓測試機連接所述第一節點，所述第二節點接地。本發明提供的晶圓測試方法，由于所述開關單元處在所述濾波單元和所述探針單元構成的回路中，可以起到隔離所述濾波單元和所述晶圓的作用，規避了由于濾波單元的充放電效應對晶圓測試造成的影響，在沒有增加任何成本的前提下提升了測試穩定性；提升了產品良率。

1.一種探針卡電路，其特征在于，所述探針卡電路包括探針單元、濾波單元、開關單元、第一節點和第二節點；所述濾波單元、第一節點、探針單元和第二節點順次連接構成一回路，所述開關單元處于所述回路中；所述探針單元與一晶圓電連接；一晶圓測試機連接所述第一節點，所述第二節點接地；所述開關單元控制所述探針卡電路的導通和斷開，所述開關單元開啟時，所述探針卡電路導通；所述開關單元閉合時，所述探針卡電路斷開，以規避所述濾波單元的充放電效應對晶圓造成的影響。2.如權利要求1所述的探針卡電路，其特征在于，所述濾波單元包括至少一個電容。3.如權利要求2所述的探針卡電路，其特征在于，所述濾波單元包括第一電容和第二電容，所述第一電容與所述第二電容并聯，所述第一電容的容值與所述第二電容的容值不相等。4.如權利要求3所述的探針卡電路，其特征在于，所述第一電容和所述第二電容中的一個容值大于等于0.1μF，另一個容值小于等于0.01μF。5.如權利要求1所述的探針卡電路，其特征在于，所述晶圓包括多個芯片，每個所述芯片上設置有測試焊點。6.如權利要求5所述的探針卡電路，其特征在于，所述探針單元包括多個探針，所述探針的數量與所述晶圓上芯片的數量相匹配，每個所述探針與每個所述芯片的測試焊點接觸。7.一種探針卡，其特征在于，包括如權利要求1-6中任一項所述的探針卡電路，實現晶圓測試機和晶圓之間的信號連接。8.一種晶圓的測試方法，其特征在于，采用如權利要求7所述的探針卡，對晶圓進行測試。