基于五芯光纖光柵的三維微尺度測量裝置及方法屬于精密儀器制造及測量技術(shù)領(lǐng)域；所述裝置包括寬頻光源、光譜分析儀、光環(huán)形器、控制計算機(jī)、多路光開關(guān)和外部參考光柵，五根單模光纖分別將多路光開關(guān)與五芯光纖扇出器連通，五芯光纖的一端連接在五芯光纖扇出器上，在五芯光纖的另一端部上通過探針夾持器固裝五芯光纖光柵探針，所述五芯光纖與五芯光纖光柵探針連接形成通路；所述方法是控制計算機(jī)控制多路光開關(guān)切換光路，使用光譜分析儀分別測量光纖光柵的反射光譜，并利用差分?jǐn)?shù)據(jù)處理算法，實現(xiàn)無溫度耦合的三維微尺度測量。本發(fā)明具有精度高、接觸力小、不受遮蔽效應(yīng)影響、探針使用壽命長的特點。

1.一種基于五芯光纖光柵的三維微尺度測量裝置，包括寬頻光源(1)、光譜分析儀(2)、光環(huán)型器(3)、控制計算機(jī)(4)、多路光開關(guān)(5)和外部參考光柵(7)，所述寬頻光源(1)和光譜分析儀(2)分別與光環(huán)型器(3)連接，光環(huán)型器(3)與多路光開關(guān)(5)、多路光開關(guān)(5)與控制計算機(jī)(4)、控制計算機(jī)(4)與光譜分析儀(2)、多路光開關(guān)(5)與外部參考光柵(7)連接形成通路，其特征在于五根單模光纖(6)分別將多路光開關(guān)(5)與五芯光纖扇出器(8)連通，五芯光纖(9)的一端連接在五芯光纖扇出器(8)上，在五芯光纖(9)的另一端部上通過探針夾持器(10)固裝五芯光纖光柵探針(11)，所述的五芯光纖(9)與五芯光纖光柵探針(11)連接形成通路。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于五芯光纖光柵的三維微尺度測量裝置的測量方法，其特征在于測量過程中，多路光開關(guān)(5)在控制計算機(jī)(4)的控制下切換不同的光路，使用光譜分析儀(2)分別測量五芯光纖光柵探針(11)內(nèi)部的五根光纖光柵和外部參考光柵(7)的反射光譜，數(shù)據(jù)處理中，對五芯光纖光柵探針(11)中心外正交的兩組光纖光柵反射光譜中心波長做差分?jǐn)?shù)據(jù)處理，可以解耦二維徑向觸測位移和溫漂，對五芯光纖光柵探針(11)中心的光纖光柵和外部參考光柵(7)反射光譜中心波長做差分?jǐn)?shù)據(jù)處理，可以獲得無徑向觸測位移和溫漂耦合的軸向觸測位移，實現(xiàn)無溫度耦合的三維微尺度測量。