本發(fā)明的目的在于，提供在半導(dǎo)體裝置的電氣特性的評價時，能夠抑制局部放電的產(chǎn)生，且抑制異物或橡膠痕跡向半導(dǎo)體裝置的表面轉(zhuǎn)印的便利性高的評價裝置和半導(dǎo)體裝置的評價方法。特征在于，具有：絕緣板；多個探針，它們固定于該絕緣板；絕緣部，其具有可拆卸地與該絕緣板連接的連接部分和與該連接部分相連的前端部分，該前端部分比該連接部分形成得細；絕緣物，其是組合多個該絕緣部，以在俯視觀察時包圍該多個探針的方式形成的；以及評價部，其使電流流過該多個探針，對被測定物的電氣特性進行評價。

1.一種評價裝置，其特征在于，具有：絕緣板；多個探針，它們固定于所述絕緣板；多個絕緣部，它們分別具有可拆卸地與所述絕緣板連接的連接部分和與所述連接部分相連的前端部分，所述前端部分比所述連接部分形成得細；絕緣物，其是組合多個所述絕緣部，以在俯視觀察時包圍所述多個探針的方式形成的，能夠通過變更所述多個絕緣部中的任意者而變更所述絕緣物的形狀；以及評價部，其使電流流過所述多個探針，對被測定物的電氣特性進行評價。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的評價裝置，其特征在于，具有卡盤臺，所述前端部分的下表面與所述卡盤臺的表面相對。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，通過將所述前端部分的內(nèi)壁面設(shè)為斜面，從而所述前端部分成為前端細的形狀。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，在所述前端部分的下表面形成槽。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，所述前端部分的下表面在俯視觀察時呈長方形狀。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，通過將所述前端部分的外壁面設(shè)為斜面，從而所述前端部分成為前端細的形狀。7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，在所述前端部分的下表面形成有凹部。8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，所述絕緣物是硅橡膠。9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，具有保護部件，該保護部件設(shè)置于所述前端部分的下表面，對所述下表面進行保護。10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，所述絕緣物嵌合于槽部，所述槽部設(shè)置于所述絕緣板的下表面。11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，所述絕緣物嵌合于貫通孔，所述貫通孔設(shè)置于所述絕緣板。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的評價裝置，其特征在于，所述貫通孔非環(huán)狀地設(shè)置有多個。13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的評價裝置，其特征在于，在所述絕緣板形成有沒有與所述絕緣物嵌合的備用槽部。14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，所述多個絕緣部中的相鄰的兩個絕緣部相嵌合。15.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，具有固定于所述絕緣板的多個插座，所述多個探針固定于所述多個插座。16.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的評價裝置，其特征在于，具有設(shè)置于所述絕緣物之中或表面的電磁屏蔽部。17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的評價裝置，其特征在于，在所述絕緣板形成有沒有與所述絕緣物嵌合的貫通孔。18.一種半導(dǎo)體裝置的評價方法，其通過權(quán)利要求1所述的評價裝置對半導(dǎo)體裝置進行評價，在該半導(dǎo)體裝置的評價方法中，使固定于絕緣板的多個探針與半導(dǎo)體裝置的有源區(qū)域接觸，且使絕緣物直接或隔著保護部件與末端區(qū)域的一部分接觸，與此同時，使電流流過所述多個探針，對所述半導(dǎo)體裝置的電氣特性進行評價，其中，所述末端區(qū)域是將所述半導(dǎo)體裝置的所述有源區(qū)域包圍的部分，所述絕緣物可拆卸地與所述絕緣板連接，包圍所述多個探針。