本發明公開了一種在聚焦離子束顯微鏡中進行快速樣品制備的方法和裝置，用于制備TEM樣品架(170)的樣坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM樣品架(170)模板。片材(120)至少有一部分將TEM樣品架(170)模塊與片材的其他部分相連。通過在壓機中從樣坯上切出TEM樣品架(170)模板而形成TEM樣品架(170)，所述切削將納操作器探針(150)末梢的針尖(160)與所形成的TEM樣品架(170)相接合，所述探針(150)的針尖(160)上連接有樣品，用于在TEM中進行檢驗。

1.一種TEM樣品架，所述TEM樣品架包括：
一個環，所述環具有圓周間隙；
所述圓周間隙通過在連接有樣品的探針針尖與TEM樣品架模板直接相
連的狀態下從TEM樣品架模板上切削出該圓周間隙而形成，其中，所述環
由用于制備TEM樣品架的樣坯中的C形孔限定；所述C形孔的開口是連
接用的槽脊；其中所述圓周間隙通過在所述C形孔的開口處從TEM樣品架
模板上切削出該圓周間隙而形成，從而允許對樣品的頂面進行聚焦離子束
研磨。
2.一種TEM樣品架，所述TEM樣品架包括：
一個環，所述環具有圓周間隙；
所述圓周間隙通過在連接有樣品的探針針尖與TEM樣品架模板直接相
連的狀態下從TEM樣品架模板上切削出該圓周間隙而形成，
其中，所述環由用于制備TEM樣品架的樣坯中的C形孔限定；所述C
形孔的開口是連接用的槽脊；所述圓周間隙通過在大致與所述C形孔的開
口相對的位置處從TEM樣品架模板上切削出該圓周間隙而形成，從而允許
對樣品的底面進行聚焦離子束研磨。
3.根據權利要求1或2所述的TEM樣品架，其特征在于，所述切削操
作包括將TEM樣品架模板壓在兩個模具之間。
4.根據權利要求1或2所述的TEM樣品架，其特征在于，還包括：
一個或多個嵌入在所述環中的探針針尖；和
一個或多個與所述探針針尖相連的樣品。
5.根據權利要求4所述的TEM樣品架，其特征在于，所述探針針尖通
過對環和探針針尖施加壓力而嵌入在所述環中，從而使繞著所述探針針尖
的環產生塑流。