本發(fā)明公開(kāi)了一種對(duì)RRAM器件的脈沖參數(shù)進(jìn)行測(cè)試的電路，包括半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、脈沖源、探針平臺(tái)和雙通道示波器，半導(dǎo)體參數(shù)分析儀作為控制平臺(tái)，同時(shí)連接于探針臺(tái)和脈沖源，并通過(guò)配置脈沖源參數(shù)控制脈沖源的波形；示波器是當(dāng)脈沖源向待測(cè)RRAM器件發(fā)出脈沖時(shí)，捕獲脈沖圖形；示波器具有第一通道和第二通道，第一通道具有第一內(nèi)阻R1，第二通道具有第二內(nèi)阻R2，待測(cè)RRAM器件與示波器第二通道的第二內(nèi)阻R2串聯(lián)，脈沖源與待測(cè)RRAM器件連接，示波器的第一通道并聯(lián)連接于待測(cè)RRAM器件與第二內(nèi)阻R2的串聯(lián)支路。利用本發(fā)明，解決了RRAM器件在脈沖測(cè)試過(guò)程中不能限流的問(wèn)題，使RRAM器件在脈沖測(cè)試時(shí)得到穩(wěn)定的脈沖測(cè)試電壓，而不會(huì)因編程或擦除后影響整個(gè)電路的穩(wěn)定。

1.一種對(duì)RRAM器件的脈沖參數(shù)進(jìn)行測(cè)試的電路，其特征在于，該電路包括半導(dǎo)體參數(shù)
分析儀、脈沖源、探針平臺(tái)和雙通道示波器，其中：
半導(dǎo)體參數(shù)分析儀作為控制平臺(tái)，同時(shí)連接于探針臺(tái)和脈沖源，并通過(guò)配置脈沖源參
數(shù)控制脈沖源的波形；
示波器是當(dāng)脈沖源向待測(cè)RRAM器件發(fā)出脈沖時(shí)，捕獲脈沖圖形；示波器具有第一通道
和第二通道，第一通道具有第一內(nèi)阻R1，第二通道具有第二內(nèi)阻R2，待測(cè)RRAM器件與示波器
第一通道的第一內(nèi)阻R1串聯(lián)，脈沖源與待測(cè)RRAM器件連接，示波器的第二通道并聯(lián)連接于
待測(cè)RRAM器件與第一內(nèi)阻R1的串聯(lián)支路；
其中，所述示波器的第一通道，選擇該通道內(nèi)阻為50Ω，由于待測(cè)RRAM器件電阻遠(yuǎn)遠(yuǎn)大
于50Ω，所以串聯(lián)后的電阻只考慮待測(cè)RRAM器件的電阻；或者，所述示波器的第二通道，選
擇該通道內(nèi)阻為50Ω，由于待測(cè)RRAM器件電阻遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于50Ω，所以并聯(lián)后的電阻為50Ω；
由于脈沖源內(nèi)阻R為50Ω，用戶需要為脈沖源匹配一個(gè)阻值，該匹配阻值為定值；匹配
阻值設(shè)定好之后，脈沖源內(nèi)阻R需要分得一部分電壓；脈沖源經(jīng)過(guò)內(nèi)部計(jì)算，得出脈沖源實(shí)
際發(fā)出的脈沖幅度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)RRAM器件的脈沖參數(shù)進(jìn)行測(cè)試的電路，其特征在于，待測(cè)
RRAM器件并聯(lián)示波器的內(nèi)阻50Ω后，能夠?qū)⒚}沖源外的阻值設(shè)置為50Ω，這樣能夠使待測(cè)
RRAM器件在脈沖測(cè)試時(shí)，得到穩(wěn)定的脈沖測(cè)試電壓，不會(huì)因編程或擦除后，RRAM阻態(tài)改變而
影響整個(gè)電路的穩(wěn)定。