本發(fā)明涉及一種采用靜電平衡梳齒驅(qū)動器的水平軸微機械音叉陀螺，它包括襯底、一組以上的驅(qū)動電容、兩檢測質(zhì)量塊、驅(qū)動折疊梁、框架、一組以上的檢測電容、檢測折疊梁和錨點；每組驅(qū)動電容的一側(cè)與相鄰的檢測質(zhì)量塊連接，檢測質(zhì)量塊通過驅(qū)動折疊梁固定連接框架，框架分別連接檢測電容和檢測折疊梁，檢測折疊梁連接固定在襯底上的錨點；每組驅(qū)動電容的另一側(cè)依次通過驅(qū)動折疊梁和框架連接到檢測折疊梁，檢測折疊梁連接固定在襯底上的錨點。本發(fā)明由于采用的驅(qū)動可動梳齒與驅(qū)動固定梳齒沿Z軸方向厚度相同、位置不同、且對稱分布，因此實現(xiàn)了有效地抑制從檢測模態(tài)到驅(qū)動模態(tài)的耦合，提高了陀螺的靈敏度和分辨率。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域中物體轉(zhuǎn)動角速度的檢測中。

1.一種采用靜電平衡梳齒驅(qū)動器的水平軸微機械音叉陀螺，其特征在于：它
包括一襯底、一組以上的驅(qū)動電容、兩檢測質(zhì)量塊、驅(qū)動折疊梁、框架、一組以
上的檢測電容、檢測折疊梁和錨點；每組所述驅(qū)動電容的一側(cè)與各自相鄰的所述
檢測質(zhì)量塊連接，每個所述檢測質(zhì)量塊通過所述驅(qū)動折疊梁固定連接所述框架，
所述框架分別連接所述檢測電容和檢測折疊梁，所述檢測折疊梁固定連接所述錨
點，所述錨點固定在所述襯底上；每組所述驅(qū)動電容的另一側(cè)依次通過所述驅(qū)動
折疊梁和框架連接到所述檢測折疊梁；
每組所述驅(qū)動電容包括驅(qū)動可動梳齒、驅(qū)動固定梳齒和驅(qū)動固定梳齒錨點，
一側(cè)所述驅(qū)動可動梳齒連接所述檢測質(zhì)量塊，另一側(cè)所述驅(qū)動可動梳齒通過所述
驅(qū)動折疊梁連接到所述框架，所述驅(qū)動可動梳齒和驅(qū)動折疊梁分別相對于陀螺X
軸、Y軸對稱分布；所述驅(qū)動固定梳齒連接各自對應(yīng)的所述固定梳齒錨點，所述固
定梳齒錨點固定在所述襯底上；所述驅(qū)動可動梳齒與所述驅(qū)動固定梳齒沿Z軸方
向的厚度相同，相對于Z軸的位置相異，且分布相對于Z軸和X軸對稱；
每組所述檢測電容包括檢測可動梳齒、檢測固定梳齒和檢測固定梳齒錨點，
所述檢測可動梳齒通過所述框架連接所述驅(qū)動折疊梁，所述檢測固定梳齒固定連
接固定在所述襯底上的所述檢測固定梳齒錨點；每組所述驅(qū)動電容位于陀螺的中
心位置，置于檢測軸Y軸附近，且呈對稱分布；每組所述檢測電容位于陀螺兩邊
的最外側(cè)，且相對于敏感軸對稱分布。
2.如權(quán)利要求1所述的一種采用靜電平衡梳齒驅(qū)動器的水平軸微機械音叉陀
螺，其特征在于：每組所述檢測電容采用開環(huán)檢測和閉環(huán)檢測其中之一。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種采用靜電平衡梳齒驅(qū)動器的水平軸微機械音
叉陀螺，其特征在于：所述襯底采用硅、氧化硅和玻璃材料其中之一制作；每組
所述驅(qū)動電容、兩檢測質(zhì)量塊、驅(qū)動折疊梁、框架、每組檢測電容和檢測折疊梁
采用硅和鈦其中之一材料制作。
4.如權(quán)利要求1或2所述的一種采用靜電平衡梳齒驅(qū)動器的水平軸微機械音
叉陀螺，其特征在于：所述驅(qū)動折疊梁和檢測折疊梁的結(jié)構(gòu)是彎曲變形梁、扭轉(zhuǎn)
變形梁和彎扭組合梁其中之一。
5.如權(quán)利要求3所述的一種采用靜電平衡梳齒驅(qū)動器的水平軸微機械音叉陀
螺，其特征在于：所述驅(qū)動折疊梁和檢測折疊梁的結(jié)構(gòu)是彎曲變形梁、扭轉(zhuǎn)變形
梁和彎扭組合梁其中之一。