本發明公開了氣相合成乙氧基硅烷的系統，包括第一容器、第二容器、第一計量泵、第二計量泵、管式反應器、電加熱器、PID溫度控制器、冷卻管、接收器、緩沖器和尾氣洗滌器。本發明還公開了氣相合成乙氧基硅烷的方法，包括(1)制備催化劑；(2)將催化劑置于管式反應器的填裝段中；(3)向管式反應器同時通入乙醇與六氯乙硅烷，控制管式反應器的反應溫度在250～450℃，其中：乙醇與六氯乙硅烷的摩爾比＝(7～20):1；質量空速控制在1～20h；(4)反應產物經過冷卻管冷卻后進入接收器，液體產物收集在接收器中，氣體尾氣經過緩沖器后由尾氣洗滌器洗滌后排放。本發明的反應在常壓低溫下進行，安全系數更高。

1.氣相合成乙氧基硅烷的方法，其特征在于，包括以下步驟：(1)制備催化劑(11)將1～3質量份硝酸銅溶于3質量份去離子水中形成硝酸銅水溶液；(12)將0.5～2質量份Si-MCM-41分子篩置于步驟(11 )得到的硝酸銅水溶液中，在20～300℃下浸漬1～24h，然后進入步驟(13)；(13)液固分離并干燥浸漬后的Si-MCM-41分子篩，然后進入步驟(14)；(14)將干燥后的Si-MCM-41分子篩在氫氣氣氛下，在650℃熱處理1～5h，得到負載銅的Si-MCM-41分子篩，然后進入步驟(15)；(15)將負載銅的Si-MCM-41分子篩在150～300℃，氧氣含量1～5％v/v的氧氣-氬氣的混合氣氛中熱處理1～5h，即得到催化劑；(2)將步驟(1)制備的催化劑置于管式反應器的填裝段中，然后進入步驟(3)；(3)向管式反應器同時通入乙醇與六氯乙硅烷，控制管式反應器的反應溫度在250～450℃，其中：乙醇與六氯乙硅烷的摩爾比＝(7～20):1；質量空速控制在1～20h^-1；(4)反應產物經過冷卻管冷卻后進入接收器，液體產物收集在接收器中，氣體尾氣經過緩沖器后由尾氣洗滌器洗滌后排放，其中：步驟(4)所得到的反應產物包括三乙氧基硅烷、四乙氧基硅烷以及六乙氧基乙硅氧烷。