本發明的裝置可將含有有機EL材料的涂敷液，從噴嘴穩定地吐出至基板上。構成噴嘴(4a)的噴嘴本體(41)的內部空間(SP)具有作為使有機EL材料(10a)流通的流路的功能。在該流路上與作在噴嘴前端的小孔(45a)離開的內部位置上，安裝著過濾器(43)。過濾器(43)的過濾精度為10微米，可以收集異物和凝膠化的溶解物等，阻止它們到達小孔(45a)。因此可以可靠地防止異物等堵塞小孔(45a)。

1.一種有機EL涂敷裝置，具有噴嘴，所述噴嘴包括具有內部空間的噴嘴本體和配置在所述噴嘴本體的前端部的前端部件，將在所述內部空間內流動的有機EL材料作為涂敷液由形成于所述前端部件上的小孔向基板吐出，其特征為，在所述內部空間，在使所述涂敷液向所述小孔流通的流路上，且在所述內部空間側，與所述小孔隔開，配置有過濾器，所述過濾器具有撓性，因在所述流路中壓送的所述涂敷液的作用而向噴嘴前端側撓曲，所述流路上的所述過濾器與所述小孔的間隔設定為，與在流路中流動的所述涂敷液的最大吐出壓力對應的所述過濾器的撓曲量相同。2.如權利要求1所述的有機EL涂敷裝置，其特征為，所述過濾器相對于所述噴嘴可裝卸地設置。3.如權利要求2所述的有機EL涂敷裝置，其特征為，所述過濾器可在所述噴嘴本體的內部空間中自由裝卸，并且所述前端部件也可以相對于所述噴嘴本體自由裝卸。4.如權利要求3所述的有機EL涂敷裝置，其特征為，所述噴嘴具有隔片，該隔片可在所述噴嘴本體的內部空間中自由插入和取出，并且在所述內部空間中，插入所述過濾器和所述前端部件之間、以規定所述過濾器和所述前端部件之間的間隔。