1.一種用于物理氣相沉積裝置的過濾裝置(1)，所述過濾裝置用于減少來自于所述物理氣相沉積裝置的蒸氣發生器的蒸氣流中的非氣態成分的量，所述過濾裝置包括：-用于蒸氣流(5)的入口通道(2)；-用于從蒸氣流(5)中移除非氣態成分的移除器件(6)；-用于從過濾裝置(1)釋放蒸氣流(5)的出口通道(7)；其中，入口通道(2)與用于移除非氣態成分的移除器件(6)流體連通；并且其中，用于移除非氣態成分的移除器件(6)與出口通道(7)流體連通；其特征在于，-用于移除非氣態成分的移除器件(6)包括碳泡沫部件(8)，蒸氣流(5)能夠穿過所述碳泡沫部件(8)，以允許蒸氣流朝向出口通道(7)通過；-用于蒸氣流通過所述用于移除非氣態成分的移除器件(6)的唯一路徑穿過碳泡沫部件(8)；-其中，用于移除非氣態成分的移除器件(6)包括粘附至碳泡沫部件(8)的石墨部件(9)，所述石墨部件能夠通過電磁感應加熱并且能夠將熱傳導至碳泡沫部件(8)，過濾裝置還包括圍繞石墨部件(9)定位的感應線圈(10)；以及-石墨部件(9)是包圍碳泡沫部件(8)的石墨管。2.根據權利要求1所述的過濾裝置，其中，用于移除非氣態成分的移除器件(6)包括具有第一直徑的第一石墨管、以及具有比第一直徑小的第二直徑的第二石墨管，其中：-第一石墨管包圍第一碳泡沫部件；-第二石墨管包圍第二碳泡沫部件；-第一碳泡沫部件連接至第二石墨管，使得所述第一石墨管和第二石墨管基本處于相同的方向上。3.一種用于物理氣相沉積裝置的過濾裝置(1)，所述過濾裝置用于減少來自于所述物理氣相沉積裝置的蒸氣發生器的蒸氣流中的非氣態成分的量，所述過濾裝置包括：-用于蒸氣流(5)的入口通道(2)；-用于從蒸氣流(5)中移除非氣態成分的移除器件(6)；-用于從過濾裝置(1)釋放蒸氣流(5)的出口通道(7)；其中，入口通道(2)與用于移除非氣態成分的移除器件(6)流體連通；并且其中，用于移除非氣態成分的移除器件(6)與出口通道(7)流體連通；其特征在于，-用于移除非氣態成分的移除器件(6)包括碳泡沫部件(8)，蒸氣流(5)能夠穿過所述碳泡沫部件(8)，以允許蒸氣流朝向出口通道(7)通過；-用于蒸氣流通過所述用于移除非氣態成分的移除器件(6)的唯一路徑穿過碳泡沫部件(8)；其中，用于移除非氣態成分的移除器件(6)包括具有呈交替形式的石墨部件(9)和碳泡沫部件(8)組成的結構。4.根據權利要求3所述的過濾裝置，其中，交替的石墨部件和碳泡沫部件呈環狀并且一同形成管形的層狀結構，所述層狀結構基本平行于蒸氣流(5)的方向延伸。5.根據權利要求1-3中的任一項所述的過濾裝置，其中，用于移除非氣態成分的移除器件(6)包括與碳泡沫部件(8)串聯并且流體連通的另一碳泡沫部件(8’)，所述碳泡沫部件(8)與所述另一碳泡沫部件(8’)設置成使得蒸氣流(5)首先穿過碳泡沫部件(8)、之后穿過所述另一碳泡沫部件(8’)。6.根據權利要求1-3中的任一項所述的過濾裝置，其中，粘附至碳泡沫部件(8)的石墨部件(9)通過粘合劑熔合至碳泡沫部件上，以增大從石墨部件(9)至碳泡沫部件(8)的熱傳導。7.一種蒸氣發生器(11)，包括：-用于源材料(13)的蒸發容器(12)；-加熱器件(14)，所述加熱器件用于將源材料(13)加熱至源材料(13)蒸發并且形成蒸氣流(5)的溫度；-根據權利要求1-6中的任一項所述的過濾裝置(1)；-蒸氣發生器的出口通道(15)；其中，蒸發容器(12)與過濾裝置(1)流體連通；并且其中，過濾裝置(1)與蒸氣發生器(11)的出口通道(15)流體連通。8.一種用于在基底上沉積蒸氣的設備(21)，所述設備包括：-根據權利要求7所述的蒸氣發生器(11)；以及-傳遞基底通過蒸氣發生器(11)的出口通道(15)的傳遞器件。9.一種將蒸氣沉積在基底上以形成涂層的方法，所述方法包括：-提供根據權利要求8所述的用于在基底上沉積蒸氣的設備(21)；然后-將源材料(13)放置在蒸發容器(12)中；然后-致動用于加熱源材料(13)的加熱器件(14)，由此形成蒸氣流；以及如果存在圍繞石墨部件(9)的感應線圈(10)的話，致動圍繞石墨部件的所述感應線圈；然后-使蒸氣流(5)通過移除器件(6)的碳泡沫部件(8)，以形成基本不具有非氣態成分的蒸氣流(5)；然后-通過蒸氣發生器的出口通道(15)釋放蒸氣流(5)，并且將蒸氣流噴射至基底上以形成涂層。10.根據權利要求9所述的方法，其中，源材料(13)包括選自以下組的金屬：鋅、鎂、鈦、鉻、錳、鎳、鉍、鍶、銻和鋁。11.根據權利要求9和10中的任一項所述的方法，還包括在蒸氣發生器中提供小于760托的氣壓的壓力。12.一種涂層基底，所述涂層基底能夠通過根據權利要求9-11中的任一項所述的方法而獲得。13.一種碳泡沫部件在根據權利要求1-6中任一項所述的過濾裝置中的用途，用來減少當將蒸氣沉積在基底上時形成的濺沫的數量。
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