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用于惡劣環境的MEMS傳聲器系統

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2022-09-10
  • 技術成熟度:已有樣品
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201310416784.1 
  • 技術(專利)名稱 用于惡劣環境的MEMS傳聲器系統 
  • 項目單位 應美盛股份有限公司
  • 發明人 K·P·哈尼,高佳,A·S·肯金 
  • 行業類別 其他領域
  • 技術成熟度 已有樣品
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 朱佩言
  • 發布時間 2022-09-10  
  • 01

    項目簡介

    一種適合于惡劣環境的MEMS傳聲器系統。系統使用集成電路封裝。第一固體金屬蓋覆蓋陶瓷封裝基座的一個面,面包括腔,從而形成聲室。封裝基座包括貫穿基座的相對面的孔,孔用于接收聲頻信號至聲室中。MEMS傳聲器在聲室內被固定至孔附近。過濾器覆蓋封裝基座的相對面中的孔徑開口,以防止污染物進入聲室。第二金屬蓋將基座的相對面圍起來,并且將過濾器附接至基座的該面。蓋通過通孔電連接,以形成射頻干擾屏蔽。陶瓷基座材料與硅傳聲器材料熱匹配,從而實現了在擴展的溫度范圍上的操作。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種集成電路封裝中的傳聲器系統,其包括:
    封裝基座,所述封裝基座包括相對的第一面和第二面,所述封裝基座包括位于所述第
    一面中的腔;
    第一金屬蓋,所述第一金屬蓋與所述封裝基座的第一面耦合,以覆蓋所述腔從而形成
    聲室,所述封裝基座包括貫穿所述封裝基座的第二面的孔,用于將聲頻信號接收至所述聲
    室中;
    過濾器,所述過濾器覆蓋所述封裝基座的第二面中的所述孔;
    硅傳聲器,所述硅傳聲器在所述聲室內在所述孔附近被固定至所述封裝基座;以及,
    第二金屬蓋,所述第二金屬蓋將所述基座的第二面以及所述過濾器圍起來,所述第二
    金屬蓋電連接至所述第一金屬蓋,所述第二金屬蓋包括允許所述聲頻信號到達所述聲室的
    開口。
    2.根據權利要求1的傳聲器系統,其中,所述封裝基座的材料是陶瓷。
    3.根據權利要求1的傳聲器系統,其中,所述封裝基座的材料是從由氧化鋁和氮化鋁組
    成的組中選擇的。
    4.如權利要求1所述的傳聲器系統,其中,所述過濾器通過所述第二金屬蓋附接至所述
    基座。
    5.如權利要求1所述的傳聲器系統,其中,所述第二金屬蓋包括所述過濾器。
    6.如權利要求1所述的傳聲器系統,其中,所述過濾器包括聚醚醚酮織物。
    7.根據權利要求1的傳聲器系統,其中,所述過濾器是從由聚四氟乙烯織物和燒結金屬
    網組成的組中選擇的。
    8.如權利要求1所述的傳聲器系統,其中,所述過濾器具有受控聲阻抗。
    9.如權利要求1所述的傳聲器系統,進一步包括固定在所述聲室內部的處理部件,所述
    處理部件與所述傳聲器進行電通信。
    10.如權利要求1所述的傳聲器系統,進一步包括直線型封裝引線,所述直線型封裝引
    線側面銅焊至引線框架。
    11.如權利要求1所述的傳聲器系統,進一步包括J引線封裝引線。
    12.如權利要求1所述的傳聲器系統,進一步包括鷗翼封裝引線。
    13.如權利要求1所述的傳聲器系統,其中,所述集成電路封裝是表面安裝的。
    14.如權利要求1所述的傳聲器系統,其中,所述第一金屬蓋和所述第二金屬蓋通過通
    孔連接,其中所述通孔按照減少射頻干擾的方式彼此隔開。
    15.一種形成傳聲器系統的方法,所述方法包括:
    提供包括相對的第一面和第二面的封裝基座,所述基座包括位于所述第一面中的腔、
    通孔、以及貫穿所述第二面的孔;
    在所述封裝基座的孔附近固定MEMS傳聲器;
    將第一金屬蓋固定至所述封裝基座的第一面,以形成包括所述腔的聲室,其中所述聲
    室容納所述傳聲器;
    將過濾器連接至所述封裝基座的第二面,其中,所述過濾器覆蓋所述孔;以及,
    將第二金屬蓋附接至所述基座的第二面;以及,
    將所述通孔電連接至所述第一金屬蓋和所述第二金屬中的每一個。
    16.如權利要求15所述的方法,其中,所述封裝基座是陶瓷。
    17.如權利要求15所述的方法,其中,所述第一金屬蓋和所述第二金屬蓋通過縫焊附接
    至所述封裝基座。
    18.如權利要求15所述的方法,其中,所述第一金屬蓋和所述第二金屬蓋通過焊接附接
    至所述封裝基座。
    展開

專利技術附圖

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