一種低能電子衍射(LEED)檢測模塊(100)，其包括：第一真空室，該第一真空室用于從樣本(109)接收衍射電子；較大的第二真空室，該較大的第二真空室連接到第一真空室以接收已經(jīng)通過第一真空室傳輸?shù)难苌潆娮樱欢S電子檢測器，該二維電子檢測器設(shè)置在第二真空室中以檢測衍射電子；電位屏蔽件(106)，該電位屏蔽件(106)總體上沿著第一真空室的內(nèi)表面和第二真空室的內(nèi)表面設(shè)置；磁透鏡(105)，該磁透鏡(105)擴展已經(jīng)通過第一真空室朝向二維電子檢測器傳輸?shù)难苌潆娮邮灰约翱傮w上平面形的能量過濾器(103)，該總體上平面形的能量過濾器(103)排斥具有比撞擊在樣本(109)上的探測電子束(203)能量低的電子。

1.一種低能電子衍射LEED檢測模塊，該LEED檢測模塊包括：
第一真空室，該第一真空室在一個端部具有用于從利用探測電子束照射的樣本接收衍
射電子的孔；
第二真空室，該第二真空室在其一個端部連接到所述第一真空室，以接收已經(jīng)通過所
述第一真空室傳輸?shù)乃鲅苌潆娮樱龅诙婵帐以诖怪庇谒鲅苌潆娮拥男羞M方向的
方向上的尺寸大于所述第一真空室的相應尺寸；
二維電子檢測器，該二維電子檢測器設(shè)置在所述第二真空室中、在所述第二真空室的
與連接到所述第一真空室的所述一個端部相反的端部處，以檢測所述衍射電子；
電位屏蔽件，該電位屏蔽件由總體上沿著所述第一真空室的內(nèi)表面和所述第二真空室
的內(nèi)表面設(shè)置的導電材料制成，所述電位屏蔽件被構(gòu)造成被施加第一加速電壓，以使來自
所述樣本的所述衍射電子加速和匯聚；
磁透鏡，該磁透鏡設(shè)置成與所述第一真空室連接到所述第二真空室的位置相鄰，以擴
展已經(jīng)通過所述第一真空室朝向所述二維電子檢測器傳輸?shù)乃鲅苌潆娮拥氖缓?br/>總體上平面形的能量過濾器，該能量過濾器排斥具有比撞擊在所述樣本上的所述探測
電子束能量低的電子，所述能量過濾器被設(shè)置成相對于所述電位屏蔽件具有間隙，并被構(gòu)
造成被施加第二加速電壓，以使經(jīng)所述磁透鏡擴展的所述衍射電子的束準直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，其中，所述能量過濾器包括多個彼此平行且與
所述衍射電子的行進方向垂直設(shè)置的篩網(wǎng)柵格。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，其中，所述二維電子檢測器包括涂覆有熒光體
和導電層的玻璃窗。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，其中，所述能量過濾器包括：彼此平行且與所
述衍射電子的行進方向垂直設(shè)置的三個篩網(wǎng)柵格，并且其中，在所述三個篩網(wǎng)柵格當中，最
靠近所述第一真空室的第一柵格和最遠的第三柵格被構(gòu)造成被施加所述第二加速電壓，且
中間柵格被構(gòu)造成被施加偏置電壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的LEED檢測模塊，其中，所述二維電子檢測器包括：玻璃窗，該玻
璃窗涂覆有要與所述衍射電子反應的熒光體；和導電層，該導電層被構(gòu)造成被施加所述第
二加速電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的LEED檢測模塊，所述LEED檢測模塊還包括攝像頭，所述攝像頭
捕獲由涂覆在接收所述衍射電子的所述玻璃窗上的所述熒光體產(chǎn)生的圖像。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的LEED檢測模塊，其中，所述攝像頭是CCD攝像頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，其中，所述二維電子檢測器包括CCD攝像頭、
CMOS攝像頭、和CCD電子直接檢測器中的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，所述LEED檢測模塊還包括位于所述第一真空
室中的附加磁透鏡，該附加磁透鏡使在所述第一真空室中行進的所述衍射電子的束匯聚或
準直。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，其中，所述第一真空室和所述第二真空室兩
者總體上是圓柱形狀，且所述第二真空室的直徑大于所述第一真空室的直徑。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊，該LEED檢測模塊還包括在所述二維電子檢測
器前面的微通道板以提高敏感度。
12.一種具有低能電子衍射LEED檢測能力的掃描電子顯微鏡SEM，該掃描電子顯微鏡包
括：
根據(jù)權(quán)利要求1所述的LEED檢測模塊；
SEM室，該SEM室容納用于保持所述樣本的樣本臺，所述SEM室具有開放凸緣，權(quán)利要求1
所述的LEED檢測模塊被插入該開放凸緣；和
SEM電子槍，該SEM電子槍朝向所述樣本發(fā)射適合于SEM分析的探測電子束，
其中，所述樣本臺能夠旋轉(zhuǎn)以取得固定位置，使得所述探測電子束相對于所述樣本的
表面的入射角和所述LEED檢測模塊的所述第一真空室相對于所述樣本的表面取向的角度
能夠相等。