本發明的目的在于提供探針區域為高密度、且難以被有機物等污染的生物芯片的制造方法。為了達成上述目的，本發明的生物芯片制造方法包括使探針溶液附著在基板上。以將探針固定在上述基板上的工序，上述探針溶液(1)的特征在于，含有探針和具有疏水性鏈和吸附在上述基板上的官能團的分子，如果上述探針溶液(1)吸附在上述基板(2)上，則在上述基板上形成介由上述官能團而吸附在上述基板上的上述分子的單分子膜(3)，通過該單分子膜(3)，制成上述探針溶液(1)的擴散和滲透被抑制的探針溶液(4)。作為上述疏水性鏈，優選為氟代烷基鏈。

1.一種生物芯片的制造方法，其包括以下工序：(a)準備探針水溶液的工序，該探針水溶液含有下述通式(1)或(2)所示的化合物或者它們的水解物、以及探針，CF₃(CF₂)_nC₂H₄SiR_3-x(OY)_x????????????????(1)CF₃(CF₂)_nC₂H₄Si[(O-CH₂CH₂)_m-OR]₃???????????(2)上述通式(1)中，R和Y各自獨立地為甲基、乙基、丙基或丁基；n為1～10的自然數；x為1～3的自然數；x＝1時，R存在2個，但它們可以不同，上述通式(2)中，R為甲基、乙基、丙基或丁基；n為1～10的自然數；m為1～10的自然數，所述探針具有-NH₂、-COOH、-OH、-SO₃H或SH中的任一個官能團；(b)準備基板的工序，該基板的表面上具有活性氫，該活性氫為-OH、-NH₂、-COOH、-SO₃H或-CN；(c)在所述基板上配置所述探針水溶液的工序；(d)通過使所述通式(1)或(2)所示的化合物或者它們的水解物與所述基板的所述活性氫發生化學反應，將所述通式(1)或(2)所示的化合物或它們的水解物固定在所述基板上的工序；(e)通過使所述基板具有的官能團與所述探針具有的官能團發生化學鍵合或者物理吸附，將所述探針固定在所述基板上的工序；(f)通過所述工序(d)中所述通式(1)或(2)所示的化合物或它們的水解物與所述基板的所述活性氫發生化學反應而形成的單分子膜，使所述探針水溶液被排斥而收縮的工序；(g)將所述探針水溶液蒸發的工序；和(h)將所述基板進行洗滌的工序。2.如權利要求1所述的生物芯片的制造方法，其中，所述探針水溶液在基板上的配置是通過滴加或利用噴墨法的噴射來進行的。3.如權利要求1所述的生物芯片的制造方法，其中，所述探針是來自于選自核酸、蛋白質、糖、細胞及它們的修飾物中的至少一個的探針。