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基板檢測及修復裝置

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2022-01-02
  • 技術成熟度:可以量產
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

專利推薦

  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201210362108.6 
  • 技術(專利)名稱 基板檢測及修復裝置 
  • 項目單位 燦美工程股份有限公司
  • 發明人 姜道煥,金顯正,趙啟峰,元龍淵 
  • 行業類別 其他領域
  • 技術成熟度 可以量產
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 衛玥
  • 發布時間 2022-01-02  
  • 01

    項目簡介

    本發明公開了一種基板檢測及修復裝置。本發明涉及的基板檢測及修復裝置,通過旋轉用于承載支撐基板的檢測單元而將基板豎立起來,從而拉近基板與操作者之間的距離,并能夠將操作者對基板的視線角度設定為舒適的角度。因此具有檢測操作非常方便的效果。而且,基板支撐固定在檢測單元上,而檢測單元的探針在基板的下側進行升降的同時與基板的電極線連接或不連接。即,具有小尺寸和小體積的探針在進行升降,且探針設置在檢測單元的內部,因此,具有縮減設置基板檢測及修復裝置的空間的效果。而且,不需要用于移動基板的高價裝置,可降低基板檢測及修復裝置的成本。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種基板檢測及修復裝置,其特征在于,包括:
    工作臺;
    檢測單元,被設置在所述工作臺上,并承載支撐著形成有陽極線和陰極
    線的基板,且具有向所述基板供給電源的多個探針,用于檢測所述基板有無
    缺陷;
    修復單元,以能夠沿X軸方向和Y軸方向移動的方式設置在所述工作臺
    上,以修復所述基板的缺陷部位;
    所述檢測單元包括:
    底臺,設置在所述工作臺上;
    第一支撐塊,長度方向與X軸方向平行地設置在所述底臺上,且承載支
    撐所述基板的中央部側;
    一對第二支撐塊,隔著所述第一支撐塊分別設置在所述第一支撐塊的一
    側和另一側的所述底臺部位,且長度方向與X軸方向平行,可沿Y軸方向運
    動,并以相互靠近或遠離的形式運動,且承載支撐與Y軸方向垂直的所述基
    板的一側和另一側外緣部;
    一對第一鉗位器,設置在所述第一支撐塊的一端側和另一端側,以相互
    靠近或遠離的形式運動,且分別支撐與X軸方向垂直的所述基板的一側面和
    另一側面;
    第二鉗位器,分別設置在所述第二支撐塊上,且分別與所述第二支撐塊
    一同運動的同時,分別支撐與Y軸方向垂直的所述基板的一側面和另一側面,
    所述檢測單元被設置成,在所述工作臺上能夠以一側面為基準使另一側
    面旋轉,
    所述探針位于所述基板的下側,設置成可升降,并與所述基板的所述陽
    極線和所述陰極線連接或不連接。
    2.根據權利要求1所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    在所述工作臺的一側形成有暗室,該暗室為操作者對與所述檢測單元一
    同旋轉規定角度的所述基板進行目測檢查的作業空間。
    3.根據權利要求1所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    所述探針分別設置在所述第二支撐塊側,且分別與所述第二支撐塊一同
    運動的同時,可相對于所述第二支撐塊進行升降。
    4.根據權利要求3所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    在所述第二支撐塊上分別設置有升降板,該升降板分別與所述第二支撐
    塊一同運動的同時,可相對于所述第二支撐板進行升降,
    在所述升降板上分別可拆裝地結合有支撐架,
    在所述支撐架上分別支撐設置有多個所述探針。
    5.根據權利要求4所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    所述探針被設置成,可相對于所述支撐架升降,
    在所述支撐架上設置有彈性支撐構件,該彈性支撐構件向所述基板側彈
    性支撐所述探針。
    6.根據權利要求4所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    在所述第二支撐塊上分別設置有多個按壓板,該按壓板分別與所述第二
    支撐塊一同運動的同時,可相對于所述第二支撐塊升降,并向下按壓所述基
    板的上表面的外緣部側。
    7.根據權利要求6所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    所述按壓板被設置成,能夠與所述第二支撐塊的運動獨立地分別沿Y軸
    方向進行直線運動。
    8.根據權利要求7所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    在所述底臺上設置有能夠沿Y軸方向運動的托板,
    在所述托板上設置有所述第二支撐塊,
    在所述托板上形成有第一止動件和第二止動件,該第一止動件限制向靠
    近所述第二支撐塊的方向運動的所述按壓板的運動距離,該第二止動件限制
    向遠離所述第二支撐塊的方向運動的所述按壓板的運動距離。
    9.根據權利要求8所述的基板檢測及修復裝置,其特征在于,
    在所述按壓板上形成有卡止凸起,該卡止凸起沿所述按壓板的運動方向
    被卡在所述第一止動件或所述第二止動件上。
    展開

專利技術附圖

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